金刚石草莓视频污片对硅块抛光的应用

1、目前现状

        硅片车间的开方机由于进来的提速切割，操作人员在实际的工作中，只要稍有疏忽就会造成硅块的切割质量不好。主要分为：切割的硅块表面有锯痕;硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象;断线引起的局部硅块形状弯曲。目前车间的毛刷式的草莓视频污片已经不能完全去除由于切割造成的锯痕;对于“鼓肚”问题的硅块，由于毛刷式的草莓视频污片的抛光能力有限，不能把中间大的尺寸去除。此时急需一种具有更强研磨能力的草莓视频污片。

2、实施方法

       目前车间所使用的抛光机主要原理，依次通过粗草莓视频污片、细草莓视频污片对硅块的表面进行抛光。现在通过把抛光机的粗草莓视频污片更换为金刚石草莓视频污片，细草莓视频污片使用毛刷式草莓视频污片对硅块进行抛光。

        试验使用的是金刚石树脂结合剂草莓视频污片，天然和人工金刚石都可以用于磨削，金刚石是碳的一种超高硬度形态，因为它对铁有亲和性而形成快速磨损，结合剂选用树脂型结合剂，它有摩擦中的震动，有一定的阻尼作用。利用金刚石草莓视频污片的较强的研磨能力，可以把开方机切割造成的一些硅块表面的问题如：切割的硅块表面有锯痕;硅块的尺寸出现中间“鼓肚”现象;断线引起的局部硅块形状弯曲，进行基本的抛光，再使用细草莓视频污片对硅块的表面进行优化，可以取得更好的效果。

3、试验过程

       为了提高硅块表面的抛光质量，通过金刚石的粗砂和毛刷式的细砂结合。粗砂把硅块表面的“鼓肚”和大锯痕去除，然后细草莓视频污片保证剩余的精抛光。在实际操作中必须保证以下几方面：在金刚石的粗砂抛光时，更应该给予充足的冷却水，保证水路畅通保证草莓视频污片前端盖的安装，使得水更均匀撒开到草莓视频污片上面确保机床研磨台车下的“V”型槽的精准性抛光时的研磨速度5—10mm/s

4、试验数据统计

       金刚石草莓视频污片可以解决对于开方机引起的问题，主要分为两个：金刚线开方机引起的硅块“鼓肚”问题;砂浆切割引起硅块表面大的锯痕问题。以下为两种设备切割的硅块的抛光前后的表面粗糙度的对比。